西安交通大學維納儀器有限責任公司承擔的“863”MEMS領域重大專項課題??“面向石化等重要行業MEMS壓力傳感器制造與實用化研究”于1月底順利通過國家科技部專家組驗收。 據了解，MEMS即微電子機械系統，集微型傳感器、微型執行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信系統以及電源于一體，是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域。該課題是由西安交通大學維納儀器有限責任公司承擔，北京青鳥元芯微系統科技有限責任公司和華中科技大學合作開發的，總投入1050萬元。該課題針對石油化工、軍工領域、能源電力以及汽車等行業對壓力測試的特殊要求，研究低中高各量程、工作溫度在-30℃???200℃的MEMS壓力傳感器及其批量制造與實用化技術難題。該課題將有利于我國目前耐高溫壓力傳感器的研究工作在石油化工、軍工領域、能源電力以及汽車等行業盡快實現商品化和產業化。