制造領域幾乎所有的創新和技術進步都離不開納米技術，而納米計量不僅是測量和表征納米尺度器件的基礎，也是微電子、微機械、超精密加工、納米醫學、納米生物學等領域中不可回避的關鍵科學與技術問題。記者今天從浙江省計量科學研究院獲悉，日前，該院“掃描探針顯微鏡校準裝置”通過了專家組現場考核，建立了省內首個納米計量領域社會公用計量標準。

    “中國是世界納米科技大國，構建了龐大的納米制造研發和生產體系，擁有數十萬臺納米測量儀器。但是納米計量技術、測試儀器和傳遞標準卻相對較少，制約了我國納米制造技術和相關行業的進一步發展。”據浙江省計量科學研究院長度與光學計量研究所副所長茅振華介紹，目前，在國家計量基標準資源共享平臺項目“微納計量標準技術在華東地區的專題服務”的支持下,經過兩年多的研究,該院已基本具備微納幾何結構關鍵尺寸的計量校準能力，建立了我省的納米計量量值傳遞的社會公用計量標準，可為半導體企業、精密加工中心的關鍵尺寸測量提供量值溯源至國家基準的途徑，更加全面準確地為半導體、微電子行業的納米尺度關鍵尺寸檢測提供技術保障。

    目前，浙江省計量科學研究院的掃描探針顯微鏡校準裝置由5個納米臺階高度標準樣板構成，標稱值分別為50nm、100nm、200nm、500nm、1000nm，相對不確定度為Urel=2.8％～0.6％(k=2)，標準樣板均由納米幾何結構計量標準裝置進行絕對法定值，定值結果可直接溯源至激光波長國家基準。該校準裝置已經達到國內領先水平，能夠校準如掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、臺階儀、輪廓儀等多種微納米級測量儀器。