近日，重慶川儀自動化股份有限公司承擔(dān)的國家“863”計劃課題“過程控制硅壓力傳感器及系統(tǒng)”順利通過科技部驗收，取得系列重大成果：一是攻克過程控制硅壓力傳感器及系統(tǒng)的技術(shù)設(shè)計、關(guān)鍵部件開發(fā)、制造工藝、裝備等關(guān)鍵技術(shù)問題，實現(xiàn)了覆蓋全量程范圍的過程控制硅壓力傳感器芯片的設(shè)計、模型建立和芯片流片的制造；二是提出以消壓力環(huán)狀結(jié)構(gòu)和多層粘合結(jié)構(gòu)為核心的無應(yīng)力封裝結(jié)構(gòu)，解決了傳感器組件的應(yīng)力問題；三是開發(fā)出適配軟件，建立壓力、溫度等參數(shù)的補(bǔ)償模型和補(bǔ)償參數(shù)自動修正方法，成功研制出測試精度達(dá)0.075%級的高精度傳感器系統(tǒng)，建成年產(chǎn)50000臺以上的傳感器系統(tǒng)生產(chǎn)流水線1條，實現(xiàn)銷售額達(dá)1億元以上。