美國國家標準和技術研究院（NIST）的研究人員正在檢測最新的顯微鏡技術。該技術能夠進一步提高納米級物體測量的精確度，而更精確的納米級測量對半導體和納米制造業確定標準和改進產品具有十分重要的意義。
　　新顯微鏡技術用氦離子產生的信號波幫助微小物體成像，此技術十分類似于上世紀60年代開始商業應用的掃描電子顯微鏡（SEM）。不過，讓人感到反常的是，雖然氦離子體積和質量比電子大許多，但卻能幫助人們獲得對比度更高、分辨率更強的微小物體成像。此外，由于該新技術具有更理想的景深，因而物體成像的清晰范圍更大。

　　NIST納米級測量組掃描電子顯微鏡項目負責人安德拉斯?弗拉達表示，上述現象屬于物理學范疇，離子比電子的質量大、波長短，因而能幫助人們獲得更佳的成像。他說，采用了新技術的顯微鏡獲得的成像看上去有立體感，清晰地顯示了小于1納米物體的細節。在硅晶體中，1納米僅橫跨3個原子。

　　目前，NIST研究人員正在深入了解新技術的成像機理。相比掃描電子顯微鏡，氦離子顯微鏡最顯著的優勢是成像能顯示物體邊緣的實際情況，這對精密制造業而言十分重要。NIST精密工程處主任及納米制造項目經理邁克爾?伯斯特克解釋說，在高技術制造領域，通過物體的邊緣了解重要的物體尺寸大小意味著每產生1個工件將節約數百美元的成本?，F在，半導體生產商在其生產線上安裝了價值數百萬美元的掃描電子顯微鏡，幫助控制微芯片生產過程。

　　作為合作研究和開發協議的一部分，NIST去年夏天從卡爾蔡司公司引進了名為“獵戶星座”（Orion）的首臺商業化氦離子顯微鏡。

　　NIST的貢獻之一是弗拉達開發的“快速成像”法，該方法使用靈巧的計算算法，讓顯微鏡能盡可能快地獲取物體圖像，并將圖像合并，降低成像的模糊性，從而生成更清晰、更銳利的成像。卡爾蔡司公司最近首次推出了“獵戶星座”的替代產品“獵戶星座+”，該產品在設計中融合了NIST提出的多項建議，包括為氦離子源改進冷卻系統以改善成像水平。