加入收藏
微信公眾號
計量資訊速遞
Micro-Metric公司開發的Innova光學測量系統可用于半導體、光電器件和微機電系統（MEMS）裝置等微小尺寸的點到點（PTP）和視場（FOV）非接觸式測量。視場測量的最小尺寸為0.5μm，測量精度可達0.010μm（10nm）；除可手動進行單點測量外，還可通過編程進行全自動逐點順序測量。儀器采用了移動行程為（200×200）mm（X，Y）的高精密工作臺和能進行精密深度測量的共焦顯微鏡，并可對亮度轉換進行亞象素級插補，從而可實現亞微米線寬的測量。通過分析被測物體的邊緣銳度，顯微鏡可在最佳焦點處實現自動聚焦定位。
